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青岛泰斯迈仪器设备有限公司
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溅射台CS-200

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详细说明

    产品特性：

• 通过利用常规过程数据和专有技术重新设计了易用性

• 通过在负载锁定室中安装暗盒机构（可选）来提高生产率

• zui大基板传送尺寸为Φ300mm（在中心Φ200mm处保证了厚度分布）。

• 支持堆叠/同时溅射多个阴极

• 通过触摸屏和配方输入自动处理，节省了人工

• 可以记录数据



产品应用：

• 电极成膜/多层电极及同时成膜应用

• 形成狄登膜，绝缘膜，钝化膜，保护膜等

• 用于电子零件和小规模生产的研发

 
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